力学所超大样品室扫描电镜投入试运行
近期,力学所非线性力学国家重点实验室公共实验平台的超大样品室扫描电镜完成了安装与调试,投入试运行,欢迎所内外单位科研和工程人员使用。
超大样品室扫描电镜特点是具有“体积超大”的真空样品室,可直接对大型结构件进行整体无损的形貌观察和微区成份能谱(EDS)分析,十分适合对大尺寸复杂形状结构件在服役过程的损伤以及演化过程进行全寿命周期的跟踪监测,以及结构件的失效分析工作。同时,具有低真空模式,可直接观察陶瓷等非导电材料样品,也可用于考古、文物鉴定等领域大尺寸样品的非破坏检测与鉴定。未来还将研制并集成多种加载和温度环境装置,开展原位力学性能与机理研究。
超大样品室扫描电镜型号:MIRA VP600 (德国ELLCIE公司),技术指标包括:
1.样品室尺寸:1300 mm (高) × 1200 mm (宽) ×1400 mm (深)
2.样品最大尺寸:直径 600 mm× 高度700 mm,质量 <300 kg
3.6轴坐标台:X轴 移动范围600mm;Z轴 移动范围600mm;A轴 摆动角±40〫
B轴 俯仰角+120〫-15〫;C轴 旋转角360〫;D轴 探头旋转角190〫
4.钨灯丝电子枪:
低真空模式VPSE探头 @20 keV 10 nm; BSD探头 @20 keV 20 nm;
高真空模式HVSE探头 @30 keV 10 nm; BSD探头 @20 keV 20 nm
5.EDS:能量分辨率 < 126 eV @ Mn-Ka
联系人:王老师、段老师、周老师、谢老师 电话:010-82543921